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半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃?xì)怏w：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

甲i醇如果以可燃氣體對(duì)待，爆i炸下限5.5%（V/V），報(bào)警值設(shè)置為25 LEL%，換算為體積分?jǐn)?shù)5.5%*25%=1.375%=13750ppm，遠(yuǎn)高于有毒報(bào)警上限35ppm。所以甲i醇應(yīng)該設(shè)置有毒氣體報(bào)警器來(lái)檢測(cè)。

按照“同一種氣體，既屬可燃?xì)怏w又屬有毒氣體時(shí)，應(yīng)只設(shè)置有毒氣體檢（探）測(cè)器”原則，應(yīng)首先考慮有毒氣體檢測(cè)報(bào)警。

但在實(shí)際工作中，如何選擇還需要結(jié)合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況。對(duì)于存在跑冒滴漏的一般工廠區(qū)域，有毒氣體檢測(cè)報(bào)警值低，略有泄漏即報(bào)警，天天都是“狼來(lái)了”，為不影響生產(chǎn)，操作人員索性關(guān)閉報(bào)警，則帶來(lái)更大的隱患。因此，只有泄漏量控制好了，ppm報(bào)警i方能凸顯其作用。

按照GBZ/T 233有毒氣體的設(shè)置原則4.1.1 “高毒/劇i毒氣體必設(shè)”無(wú)爭(zhēng)議，其它有毒氣體是“大量泄放/易于聚集”的場(chǎng)合。建議結(jié)合場(chǎng)所條件、氣象條件、操作人員的操作方式、巡檢頻次等，來(lái)綜合評(píng)估風(fēng)險(xiǎn)程度。敞開式、通風(fēng)條件好的場(chǎng)所按可燃設(shè)置是適宜的，而室內(nèi)、封閉半封閉等泄漏氣體不易擴(kuò)散及人員出入頻繁的場(chǎng)所，則應(yīng)設(shè)為有毒。操作人員采樣、巡檢時(shí)應(yīng)配備便攜式有毒氣體檢測(cè)報(bào)警器。

所以，具體問(wèn)題具體分析，不管是可燃還是有毒，結(jié)合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況來(lái)合理安裝。

復(fù)合型氣體檢測(cè)儀的特點(diǎn)如下：

1.有泵吸功能，以便可以非接觸、分部位檢測(cè)。密閉空間中不同部位(上、中、下)的氣體分布和氣體種類有很大的不同。比如：一般意義上的可燃?xì)怏w的比重較輕，它們大部分分布于密閉空間的上部;一氧化碳和空氣的比重差不多，一般分布于密閉空間的中部；而硫化氫等較重氣體則存在于密閉空間的下部。

2.同時(shí)能檢測(cè)多中氣體濃度的功能，以檢測(cè)不同空間分布的危險(xiǎn)氣體，包括無(wú)機(jī)氣體和有機(jī)氣體；

3.能監(jiān)控含氧濃度功能，防止缺氧或富氧；

4.氣體檢測(cè)儀外觀必須小巧，方便操作及讀數(shù)，不影響工人正常工作

復(fù)合氣體檢測(cè)儀對(duì)于許多單位多種氣體檢測(cè)是其中一項(xiàng)非常重要的安全程序，很多生產(chǎn)工序需要用到有潛在有毒有害氣體，以及部分工序會(huì)產(chǎn)生一些帶有危險(xiǎn)性的氣體副產(chǎn)品。如果能定期進(jìn)行i氣體檢測(cè)維護(hù)和檢查監(jiān)控，就能及早發(fā)現(xiàn)并把這種危險(xiǎn)控制在蕞小的范圍內(nèi)。